某半导体存储芯片存储芯片手工制作厂在晶圆制造具体步骤中,施用硅烷采取硅概念成长,排放干洗塔生成高氧化还原电位含硅废气。废气更具pH波动性大(2-11)、硅硫含量高的基本特征,普通办理方式易产生硅垢梗塞大问题。
生活污水物质及由来
废水处理常见部分为:
融解性硅酸盐
:SiO₂氨水浓度达1000-1500mg/L
磷酸/氢钝化钠
:洗衣机清洗塔碱酸洗衣机清洗液残余的
科粒硅
:奈米级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:主料残渣带去
工作艺程序流程
改革创新进行"有级与+膜滤水+化掉晶体"艺:
特一级采和
:用CaO控制pH至4-5,导出硅酸钙石雕文化沉淀,硅避开率60%。
下级结合
:加Na₂CO₃将pH大幅提升至9,进1步析出余下硅,串连用镁剂除砷。
反渗透膜体统
:0.02μm陶瓷制品膜过滤器纳米技术级硅颗粒剂,通量稳定可靠在80LMH。
MVR化掉器
:提液高盐生活污水,结晶体出Na₂SO₄副食品,水造纸废水处理率超90%。
不可能的效果
总硅从1500mg/L高于5mg/L下面的
砷含量的从0.8mg/L降落到0.01mg/L
系统性无结渣操作多于2年
一年收售磷酸钠多晶体约800吨