该厂为8厘米晶圆出现线配套设施的超蒸馏水平台，每星期出现含硅工业品废水150吨。工业品废水底虽无血本属，但硅含量高易结渣，且电容率需符合18MΩ·cm就可以造纸废水操作。增加了操作生产工艺就没有办法充分考虑新颁行的《自动化工业品水危害物排出标准的》（GB39731-2020）特备排出规定值。 废气化学成分特性 重要环保问题物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、粒子硅（粒度0.1-1μm） 非常规需要 ：TOC<10μg/L，硼量<5μg/L 地表水特质 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅类化合物社会形态缜密 加工处理工艺设备具体步骤 科学创新选用"梯级膜隔离+电去阴阳离子"团体工艺技术： 微滤预进行处理 ：1μm淘瓷膜阻拦大颗料硅，通量确保80LMH 铁离子互换不饱和树脂 ：D201大孔硅胶粘合剂选泽性吸附性硅酸团伙 二次元RO系统软件 ：1段收废率60%，第二步段利用高脱硼膜开关元件 EDI电去正离子 ：电压电流导热系数2A/m²，定期出掉残余物铁离子 紫外光杀菌消毒 ：254nm紫外光线摄入量40mJ/cm² 方法成效 设计规划专用箱阻硅剂（有机质胺类混合物），廷缓膜生态破坏时间3倍 EDI信息模块去创新流道来设计，硅除掉率完善至99.8% 迅雷在线硅介绍仪（量测条件0.1-500μg/L）保证 脱贫抑制 开机运行成果 经3.方加测： 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼含水量从8μg/L降到0.3μg/L 系统化回收处理率从原40%上升至68% 膜修改周期长延后至5年，年启动价格较低35%